Úvod
Mikroelektromechanický systém se týká fyziky, chemického, optického, lékařského, elektronického inženýrství, materiálového inženýrství, strojního inženýrství, informačního inženýrství a bioinženýrství a dalších akademických technologií a inženýrských technologií. Výrobní proces mikroelektromechanických systémů má hlavně proces integrovaných obvodů, mikrometrický / nano výrobní proces, malý mechanický proces a další speciální typy zpracování. Mikroelektromechanický systém bude mít široké uplatnění v národním hospodářství a vojenském systému.
Pole
Spojené státy americké úspěšně vyvinuly pro automobilový antikolizní a palivově úsporný mikroelektromechanický systém akcelerační tabulky a senzoru, který může zlepšit bezpečnost vozu a paliva o 10 %. Tento systém amerického ministerstva obrany může ušetřit miliardy na poplatcích za benzín ročně. Mikroelektromechanické systémy mohou ušetřit náklady v leteckém systému, zlepšit flexibilitu systému a povedou ke změnám v leteckých systémech. Například vzorek mikroinerciálního měřícího zařízení se stupnicí 2 cm × 2 cm x 0,5 cm a 5 gramů. Pokud jde o vojenské aplikace, Úřad pro starší výzkumný program Ministerstva obrany USA provádí mikroelektromechanické systémy pro malá inerciální měřicí zařízení pro osobní navigaci, velkokapacitní zařízení pro ukládání dat, malé analytické přístroje, lékařské senzory, přepínače sítí z optických vláken, monitorování životního prostředí a bezpečnosti Výzkum distribuovaného bezobslužného snímání snímání. Kancelář předvedla akcelerační stůl vyrobený na základě mikroelektromechanického systému, který dokáže odolat nárazu téměř 10,5 gravitačního zrychlení generovaného dělostřelectvem, což může poskytnout ekonomický naváděcí systém pro nevyrobené raketové drogy. Imagine vojenské aplikace mikroelektromechanických systémů také zahrnují: chemickou bojovou látku, nepřítele pro identifikaci zařízení, inteligentní skin, distribuovanou síť senzorů bojiště atd.