Johdanto
Mikroelektromekaaniset järjestelmät liittyvät fysiikan, kemian, optiikan, lääketieteen, elektroniikkatekniikan, materiaalitekniikan, koneenrakennuksen, tietotekniikan ja biotekniikan sekä muihin akateemiseen teknologiaan ja teknologioihin. Mikroelektromekaanisten järjestelmien valmistusprosessissa on pääasiassa integroitu piiriprosessi, mikrometrin / nanon valmistusprosessi, pieni mekaaninen prosessi ja muut erikoiskäsittelytyypit. Mikroelektromekaanisella järjestelmällä on laaja valikoima sovellusmahdollisuuksia kansantaloudessa ja sotilaallisessa järjestelmässä.
Kenttä
Yhdysvalloissa on kehitetty onnistuneesti käytetty autojen törmäyksenesto- ja polttoainetta säästävä mikroelektromekaaninen kiihtyvyystaulukko ja anturi, joka voi parantaa auton ja polttoaineen turvallisuutta 10 %. Tämä Yhdysvaltain puolustusministeriön järjestelmä voi säästää miljardeja bensiinimaksuja vuodessa. Mikroelektromekaaniset järjestelmät voivat säästää kustannuksia ilmailu- ja avaruusjärjestelmissä, parantaa järjestelmän joustavuutta ja johtaa muutoksiin ilmailujärjestelmissä. Esimerkiksi näyte mikroinertiamittauslaitteesta, jonka asteikko on 2 cm × 2 cm x 0,5 cm ja 5 grammaa. Sotilassovellusten osalta Yhdysvaltain puolustusministeriön Senior Research Program Bureau toteuttaa mikroelektromekaanisia järjestelmiä pienille henkilökohtaisen navigoinnin inertiamittauslaitteille, suuren kapasiteetin tallennuslaitteille, pienille analyysiinstrumenteille, lääketieteellisille antureille, valokuituverkkokytkimille, ympäristö- ja turvallisuusseuranta Hajautetun valvomattoman tunnistustunnistuksen tutkimus. Toimisto on esitellyt mikroelektromekaaniseen järjestelmään perustuvan kiihtyvyystaulukon, joka kestää tykistön tuottaman lähes 10,5 painovoimakiihtyvyyden vaikutuksen ja joka voi tarjota taloudellisen ohjausjärjestelmän valmistamattomille ohjuslääkkeille. Kuvittele, että mikroelektromekaanisten järjestelmien sotilaallisiin sovelluksiin kuuluvat myös: kemiallinen sodankäyntiaine, vihollinen laitteiden tunnistamiseen, älykäs iho, hajautettu taistelukentän anturiverkko jne.